第五十二章 追光行动（2）
第822章追光行动</p>
会议室的门紧紧的关闭着，将外界的喧嚣隔绝，只留下室内的沉静和紧张气氛。</p>
国安和军方的人员分列两旁，面无表情，仿佛是这紧张气氛中的冷静注脚。</p>
卿云站在会议室前端，环视了一圈留下的大佬们，他知道，这些华国半导体产业的领军人物，每一位都有着不凡的见识和胆识。</p>
他也很清楚，接下来自己所要说的话，将会对在座的每一个人，甚至对整个华国半导体产业产生深远的影响。</p>
云帝准备揭开即将到来的几年大戏的序幕。</p>
卿云轻声开口，声音在静谧的会议室中清晰可闻，</p>
“诸位前辈，接下来我们要讨论的内容，关系到华国半导体产业的未来，也关系到我们每个人的责任与使命。”</p>
他顿了顿，继续说道：“在此之前，我必须确保所有的信息安全，这也是国安部门介入的原因。</p>
接下来的讨论，每一句话都具有极高的保密性，不允许有任何泄露的可能。”</p>
众人面面相觑后，大王先生王守武微微颔首，表示理解，“小卿，你放心，我们这些老骨头也是经过风浪的，知道轻重。”</p>
黄令仪也开口道，“保密我们是懂的，你就直说吧，到底是什么样的计划，需要如此慎重其事。”</p>
卿云点了点头，他的眼神陡然间变得坚定起来，从萧雅递过来的文件袋里抽出一份文件，而后几名国安的人员也同时将一个文件袋放在了各位大佬的桌上。</p>
对卿云这种先声夺人的举措，严晓浪的心中本有些不忿。</p>
其实，任何人在未经提前告知的情况下遭遇这种突如其来的、带有强制性的保密措施，内心都难免有所抵触。</p>
这是人趋利避害的天性使然。</p>
况且，曾作为燕京集成电路设计中心总工程师，主持过了国家第三级集成电路CAD系统的国家攻关任务，现任之江大学电气工学院院长、超大规模集成电路设计研究所所长、SOC交叉研究中心主任的严晓浪，对这個模式并不陌生。</p>
他很清楚，一旦组织上采用这种模式，就意味着一个超大的麻烦等着解决。</p>
然而，当他的目光落在桌上文件的封面上，看到那标明的保密等级，心情顿时平复下来。</p>
没办法，文件封面上标注的保密等级是“绝密”。</p>
在他们这个级别的大佬日常接触的文件中，保密文件是常态，而“绝密”等级的文件也并非罕见。</p>
但当“绝密”后面紧跟着“核心”两个字时，情况就非常不同寻常了。</p>
而最令人倒吸一口凉气的是，文件封面上还赫然印着“永不解禁”四个大字。</p>
这在任何保密文件中都是极为罕见的，意味着这些文件直到销毁，都不会有解密的一天。</p>
所有人心中的不忿瞬间消散，甚至在没有得到卿云明确的指令前，所有人都不敢轻易拆封文件袋。</p>
这种级别的文件，他们明白，接下来的每一个动作都将承担着重大的责任。</p>
等萧雅完成了对会议室的最后检查，冲着卿云点头示意没有问题后，卿云这才清了清嗓子，开始介绍起来，</p>
“诸位前辈，现在诸位看到的，是与我恩师程进教授同时遭遇不幸的林本坚先生，在机场随身携带的资料。</p>
这些文件中，包含了浸没式光刻技术的部分技术资料。”</p>
卿云的话，并不多，但此话一出，会议室里的空气似乎凝固了，所有人全部懵了圈。</p>
他们面面相觑，几乎不敢相信自己的耳朵。</p>
浸没式光刻技术，对于业界，并不是什么秘密，本身就是以会议论文形式提出来的。</p>
大家都知道原理。</p>
但是怎么实现，这就是林本坚和ASML的商业秘密了。</p>
而这套残缺的技术资料的出现，无疑将对华国半导体产业带来翻天覆地的变化。</p>
这……</p>
没人管这些东西是怎么来的，也没人管什么知识产权不知识产权的，会场里的大佬们一个个都呼吸粗重了起来，眼睛里全部绿油油的望着卿云。</p>
等待文件开启的命令。</p>
卿云看着众人震惊的表情，微微一笑，继续说道，“现在给大家两个小时的时间阅读和理解这些资料。</p>
同时，实在不好意思，从现在开始，诸位前辈的一举一动都必须在国安及军方的共同监控下。”</p>
各位大佬完全不鸟他后面那句警告，这些规矩他们懂得，只会嫌这小子太呱噪了。</p>
他们甚至比卿云更清楚，眼前的资料，按照国安的方式，每个人拿到的都是不同的。</p>
在某个或者某几个关键地方，一定会出现一些小错误，如此，将来一旦出现了泄露，国安能迅速的锁定源头。</p>
他们一个个迫不及待地打开文件袋，开始仔细阅读起来。</p>
这些资料的价值，他们比任何人都清楚，这不仅是技术的突破，更是华国半导体产业发展的一个历史性机遇。</p>
会议室里响起了翻阅纸张的声音，每一位在场的人都全神贯注地投入到了对这份珍贵资料的学习中。</p>
他们知道，这可能是他们一生中最重要的两个小时，每一个字、每一张图、每一个公式，都可能成为改变未来的关键。</p>
时间一分一秒地过去，120分钟的阅读时间，很快便走到了尽头。</p>
卿云轻声提醒了一句“时间到了”，国安人员立刻走上前来，对资料进行了回收。</p>try{ggauto();} catch(ex){}
眼前的资料不过是个概述，而正式的资料，进组后才提供，这是规矩，大佬们都懂得起，自然不会有什么异议。</p>
但是他们依然恋恋不舍地望着被收起的文件袋，目光中满是复杂情绪。</p>
黎光楠他们知道，这些资料所蕴含的价值，远不止眼前所见的这些。</p>
而后，他们的目光不约而同地转向了台前的少年，等待着他的下一步发言。</p>
在这群人中，大王先生资历最老，江湖地位也最高。</p>
84岁的他首先开口，声音中透露出一丝亢奋，</p>
“小卿，有话直说，要怎么安排，怎么进行，你直接吩咐就是了。”</p>
大王先生的这句话，相当于代表在场的所有人进行了表态。</p>
卿云心中感激，他对着所有大佬鞠了一躬，然后看向了那位主持了前两代光刻机研发的徐端颐。</p>
“徐老，”卿云的目光中带着一丝期待，“您是浸淫此道多年的老前辈，我想请问您，有没有把握根据资料对浸润式光刻机进行研发？”</p>
徐端颐没有急着回答，他闭目思索了良久，会议室里的气氛也随着他的沉默而变得紧张起来。</p>
虽然他们都是搞这行的，但半导体是个庞大的系统工程，术业有专攻，要说起光刻机的研发，还得看这位老爷子。</p>
终于，徐端颐缓缓睁开了眼睛，他的声音中带着一丝沙哑：“有把握，但是……这不解决根本问题。”</p>
此言一出，会议室里的气氛顿时凝重起来。在座的每一位都是半导体领域的专家，他们当然明白徐端颐所说的根本问题指的是什么。</p>
表情怪异的黄令仪紧随其后的开了口，“小卿，这份资料非常的重要，对我们国家来说，完全可以说是无价之宝。</p>
但是……”</p>
徐端颐接过她的话头继续说着，“小卿，一台光刻机，我们进行拆分，大致分为光源系统、照明系统、投影物镜系统、双工件台系统、以及光罩与晶圆传输系统、调平调焦系统、对准系统七个子系统。</p>
光刻机性能的三大评价指标是分辨率、套刻精度、和产率，这是一整套极严苛的环境控制、整机控制以及整机软件分析系统。</p>
可以说光刻机的每一个子系统都在挑战人类工程的极限。”</p>
他惋惜的叹了口气，“我的意思是，只有这套图纸，是不够的。我们差的……不是一点半点，甚至很多领域，我们的现状是近乎为零。</p>
坦率的说，给我图纸，给我一年半载，我能造出来，但没法用，你明白吗？”</p>
卿云闻言并没有什么气馁的神色。</p>
很正常，毕竟这群老头老太太们，不是和他一样都是重生的。</p>
他们一直在争气，却没那个解气的经历。</p>
徐端颐望着他，神色复杂的说着，“小卿，追光……光喊口号是没用的。技术、工艺受限，单单突破一点，是没用的。”</p>
云帝闻言，眼神毫不躲闪的，淡淡的说着，“老爷子，我明白的。我虽然年轻，但也没那么天真。”</p>
这个过程，他太清楚了。</p>
华国的第四代光刻机，最初便是如此。</p>
07年我们便达到了90nm，只是光学系统拉胯，别人见你做出来了，直接不卖配件让我们没法量产，直到十年后在国内各参与方通力合作才解决。</p>
虽然那是干式光刻机，对光学系统进口依赖严重，但当前的现状就是就算走浸没式，同样也会被别人封锁。</p>
因为正如徐端颐所言，很多领域就是一片空白，只能依赖进口。</p>
不过……</p>
云帝此时却笑了笑，“老爷子，这就是我们今天坐在这里来商讨的意义所在。</p>
我们今天讨论的纲领，就是从源头来解决这一切的。”</p>
说罢，他又打开了投影仪。</p>
此时的幕布上面，光刻机器七大子系统赫然出现在PPT中，甚至每个子系统又拆分成不同的细分系统。</p>
上面的绿色标明了哪些部件是可以国产的，而黄色部分则是哪些部件是现有技术下可以解决的，如光源，以前没有，是国内没人造光刻机，现在有人要造要用，自然是可以解决的。</p>
毕竟，论到玩激光，华国才是祖宗。</p>
甚至，单从光源来说，成创天院士的研发的KBBF晶体可以反向卡欧美的脖子，没有这玩意儿，根本就没有EUV光刻机。</p>
而这个晶体，成创天院士以一己之力硬生生的卡了欧美15年的脖子。</p>
众大佬也知道这种情况。</p>
一张硕大的图片，让众大佬很是无语。</p>
“你小子真的是为难我们这些老头子哦！”</p>
即使是在投影幕布上，那密密麻麻的，字跟蚂蚁大小也差不多，让他们叫苦不迭，纷纷想要起身去前面拿着放大镜仔细看着。</p>
萧雅适时的将各系统详细分解图在会议室里散发着。</p>
上面的字体斗大斗大的，倒是让老头老太太们舒服了不少。</p>
而年纪最大的王守武等人，旁边也专门有国安的人员坐在一边替他们念着。</p>
又是十来分钟过去，一众大佬纷纷放下了手里的资料以及……手里的放大镜。</p>
不过望着上面几乎比例可以达到70%的白色区域，都是摇头苦笑着。</p>
差的太多。</p>
……</p></div>
会议室的门紧紧的关闭着，将外界的喧嚣隔绝，只留下室内的沉静和紧张气氛。</p>
国安和军方的人员分列两旁，面无表情，仿佛是这紧张气氛中的冷静注脚。</p>
卿云站在会议室前端，环视了一圈留下的大佬们，他知道，这些华国半导体产业的领军人物，每一位都有着不凡的见识和胆识。</p>
他也很清楚，接下来自己所要说的话，将会对在座的每一个人，甚至对整个华国半导体产业产生深远的影响。</p>
云帝准备揭开即将到来的几年大戏的序幕。</p>
卿云轻声开口，声音在静谧的会议室中清晰可闻，</p>
“诸位前辈，接下来我们要讨论的内容，关系到华国半导体产业的未来，也关系到我们每个人的责任与使命。”</p>
他顿了顿，继续说道：“在此之前，我必须确保所有的信息安全，这也是国安部门介入的原因。</p>
接下来的讨论，每一句话都具有极高的保密性，不允许有任何泄露的可能。”</p>
众人面面相觑后，大王先生王守武微微颔首，表示理解，“小卿，你放心，我们这些老骨头也是经过风浪的，知道轻重。”</p>
黄令仪也开口道，“保密我们是懂的，你就直说吧，到底是什么样的计划，需要如此慎重其事。”</p>
卿云点了点头，他的眼神陡然间变得坚定起来，从萧雅递过来的文件袋里抽出一份文件，而后几名国安的人员也同时将一个文件袋放在了各位大佬的桌上。</p>
对卿云这种先声夺人的举措，严晓浪的心中本有些不忿。</p>
其实，任何人在未经提前告知的情况下遭遇这种突如其来的、带有强制性的保密措施，内心都难免有所抵触。</p>
这是人趋利避害的天性使然。</p>
况且，曾作为燕京集成电路设计中心总工程师，主持过了国家第三级集成电路CAD系统的国家攻关任务，现任之江大学电气工学院院长、超大规模集成电路设计研究所所长、SOC交叉研究中心主任的严晓浪，对这個模式并不陌生。</p>
他很清楚，一旦组织上采用这种模式，就意味着一个超大的麻烦等着解决。</p>
然而，当他的目光落在桌上文件的封面上，看到那标明的保密等级，心情顿时平复下来。</p>
没办法，文件封面上标注的保密等级是“绝密”。</p>
在他们这个级别的大佬日常接触的文件中，保密文件是常态，而“绝密”等级的文件也并非罕见。</p>
但当“绝密”后面紧跟着“核心”两个字时，情况就非常不同寻常了。</p>
而最令人倒吸一口凉气的是，文件封面上还赫然印着“永不解禁”四个大字。</p>
这在任何保密文件中都是极为罕见的，意味着这些文件直到销毁，都不会有解密的一天。</p>
所有人心中的不忿瞬间消散，甚至在没有得到卿云明确的指令前，所有人都不敢轻易拆封文件袋。</p>
这种级别的文件，他们明白，接下来的每一个动作都将承担着重大的责任。</p>
等萧雅完成了对会议室的最后检查，冲着卿云点头示意没有问题后，卿云这才清了清嗓子，开始介绍起来，</p>
“诸位前辈，现在诸位看到的，是与我恩师程进教授同时遭遇不幸的林本坚先生，在机场随身携带的资料。</p>
这些文件中，包含了浸没式光刻技术的部分技术资料。”</p>
卿云的话，并不多，但此话一出，会议室里的空气似乎凝固了，所有人全部懵了圈。</p>
他们面面相觑，几乎不敢相信自己的耳朵。</p>
浸没式光刻技术，对于业界，并不是什么秘密，本身就是以会议论文形式提出来的。</p>
大家都知道原理。</p>
但是怎么实现，这就是林本坚和ASML的商业秘密了。</p>
而这套残缺的技术资料的出现，无疑将对华国半导体产业带来翻天覆地的变化。</p>
这……</p>
没人管这些东西是怎么来的，也没人管什么知识产权不知识产权的，会场里的大佬们一个个都呼吸粗重了起来，眼睛里全部绿油油的望着卿云。</p>
等待文件开启的命令。</p>
卿云看着众人震惊的表情，微微一笑，继续说道，“现在给大家两个小时的时间阅读和理解这些资料。</p>
同时，实在不好意思，从现在开始，诸位前辈的一举一动都必须在国安及军方的共同监控下。”</p>
各位大佬完全不鸟他后面那句警告，这些规矩他们懂得，只会嫌这小子太呱噪了。</p>
他们甚至比卿云更清楚，眼前的资料，按照国安的方式，每个人拿到的都是不同的。</p>
在某个或者某几个关键地方，一定会出现一些小错误，如此，将来一旦出现了泄露，国安能迅速的锁定源头。</p>
他们一个个迫不及待地打开文件袋，开始仔细阅读起来。</p>
这些资料的价值，他们比任何人都清楚，这不仅是技术的突破，更是华国半导体产业发展的一个历史性机遇。</p>
会议室里响起了翻阅纸张的声音，每一位在场的人都全神贯注地投入到了对这份珍贵资料的学习中。</p>
他们知道，这可能是他们一生中最重要的两个小时，每一个字、每一张图、每一个公式，都可能成为改变未来的关键。</p>
时间一分一秒地过去，120分钟的阅读时间，很快便走到了尽头。</p>
卿云轻声提醒了一句“时间到了”，国安人员立刻走上前来，对资料进行了回收。</p>try{ggauto();} catch(ex){}
眼前的资料不过是个概述，而正式的资料，进组后才提供，这是规矩，大佬们都懂得起，自然不会有什么异议。</p>
但是他们依然恋恋不舍地望着被收起的文件袋，目光中满是复杂情绪。</p>
黎光楠他们知道，这些资料所蕴含的价值，远不止眼前所见的这些。</p>
而后，他们的目光不约而同地转向了台前的少年，等待着他的下一步发言。</p>
在这群人中，大王先生资历最老，江湖地位也最高。</p>
84岁的他首先开口，声音中透露出一丝亢奋，</p>
“小卿，有话直说，要怎么安排，怎么进行，你直接吩咐就是了。”</p>
大王先生的这句话，相当于代表在场的所有人进行了表态。</p>
卿云心中感激，他对着所有大佬鞠了一躬，然后看向了那位主持了前两代光刻机研发的徐端颐。</p>
“徐老，”卿云的目光中带着一丝期待，“您是浸淫此道多年的老前辈，我想请问您，有没有把握根据资料对浸润式光刻机进行研发？”</p>
徐端颐没有急着回答，他闭目思索了良久，会议室里的气氛也随着他的沉默而变得紧张起来。</p>
虽然他们都是搞这行的，但半导体是个庞大的系统工程，术业有专攻，要说起光刻机的研发，还得看这位老爷子。</p>
终于，徐端颐缓缓睁开了眼睛，他的声音中带着一丝沙哑：“有把握，但是……这不解决根本问题。”</p>
此言一出，会议室里的气氛顿时凝重起来。在座的每一位都是半导体领域的专家，他们当然明白徐端颐所说的根本问题指的是什么。</p>
表情怪异的黄令仪紧随其后的开了口，“小卿，这份资料非常的重要，对我们国家来说，完全可以说是无价之宝。</p>
但是……”</p>
徐端颐接过她的话头继续说着，“小卿，一台光刻机，我们进行拆分，大致分为光源系统、照明系统、投影物镜系统、双工件台系统、以及光罩与晶圆传输系统、调平调焦系统、对准系统七个子系统。</p>
光刻机性能的三大评价指标是分辨率、套刻精度、和产率，这是一整套极严苛的环境控制、整机控制以及整机软件分析系统。</p>
可以说光刻机的每一个子系统都在挑战人类工程的极限。”</p>
他惋惜的叹了口气，“我的意思是，只有这套图纸，是不够的。我们差的……不是一点半点，甚至很多领域，我们的现状是近乎为零。</p>
坦率的说，给我图纸，给我一年半载，我能造出来，但没法用，你明白吗？”</p>
卿云闻言并没有什么气馁的神色。</p>
很正常，毕竟这群老头老太太们，不是和他一样都是重生的。</p>
他们一直在争气，却没那个解气的经历。</p>
徐端颐望着他，神色复杂的说着，“小卿，追光……光喊口号是没用的。技术、工艺受限，单单突破一点，是没用的。”</p>
云帝闻言，眼神毫不躲闪的，淡淡的说着，“老爷子，我明白的。我虽然年轻，但也没那么天真。”</p>
这个过程，他太清楚了。</p>
华国的第四代光刻机，最初便是如此。</p>
07年我们便达到了90nm，只是光学系统拉胯，别人见你做出来了，直接不卖配件让我们没法量产，直到十年后在国内各参与方通力合作才解决。</p>
虽然那是干式光刻机，对光学系统进口依赖严重，但当前的现状就是就算走浸没式，同样也会被别人封锁。</p>
因为正如徐端颐所言，很多领域就是一片空白，只能依赖进口。</p>
不过……</p>
云帝此时却笑了笑，“老爷子，这就是我们今天坐在这里来商讨的意义所在。</p>
我们今天讨论的纲领，就是从源头来解决这一切的。”</p>
说罢，他又打开了投影仪。</p>
此时的幕布上面，光刻机器七大子系统赫然出现在PPT中，甚至每个子系统又拆分成不同的细分系统。</p>
上面的绿色标明了哪些部件是可以国产的，而黄色部分则是哪些部件是现有技术下可以解决的，如光源，以前没有，是国内没人造光刻机，现在有人要造要用，自然是可以解决的。</p>
毕竟，论到玩激光，华国才是祖宗。</p>
甚至，单从光源来说，成创天院士的研发的KBBF晶体可以反向卡欧美的脖子，没有这玩意儿，根本就没有EUV光刻机。</p>
而这个晶体，成创天院士以一己之力硬生生的卡了欧美15年的脖子。</p>
众大佬也知道这种情况。</p>
一张硕大的图片，让众大佬很是无语。</p>
“你小子真的是为难我们这些老头子哦！”</p>
即使是在投影幕布上，那密密麻麻的，字跟蚂蚁大小也差不多，让他们叫苦不迭，纷纷想要起身去前面拿着放大镜仔细看着。</p>
萧雅适时的将各系统详细分解图在会议室里散发着。</p>
上面的字体斗大斗大的，倒是让老头老太太们舒服了不少。</p>
而年纪最大的王守武等人，旁边也专门有国安的人员坐在一边替他们念着。</p>
又是十来分钟过去，一众大佬纷纷放下了手里的资料以及……手里的放大镜。</p>
不过望着上面几乎比例可以达到70%的白色区域，都是摇头苦笑着。</p>
差的太多。</p>
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