第337章 美滋滋的配套单位
东北光学所，接到了一个光路系统的研制要求，要求的发起方，来自十二机部，至于是做什么用的，并没有说明。</p>
要求非常贴心的分为了两级，实现过程也就分成了两步。</p>
第一步，是将波长355nm的激光束扩散为直径160mm的平行光束。</p>
第二步，是将这束扩散后的平行光束，将光路中的玻璃板上图像重新缩微投影为一个20mm的光斑。要求缩微投影后，图形变形不超过5微米，越小越好。</p>
这个要求说简单那不简单，说麻烦嘛，好像也不是非常麻烦，正好卡在好像努力一下就能够的着的程度。</p>
对于搞技术的人来说，这种要求是最舒服的，既不会没有挑战性和成就感，又不会要求太高难以实现。</p>
而且对方明确说了，分两步实施，第一步做出来就先提交第一步，第一步尽量快，第二步可以慢慢做，但是质量一定要稳。</p>
还能分步提交成果，这就更舒服了。</p>
甚至对方还非常贴心的，送了一台激光器过来，正是355nm激光光源。</p>
这个不是红宝石激光器，本来是高振东为激光测距准备的YAG激光器，这东西功率比较容易做大，而且波长根据掺杂可调。</p>
这正是高振东和1274厂集成电路工艺研究中的一部分，这东西一看就知道，用于光刻机的光路系统。</p>
把整个光路系统分成两步，正是高振东的主意。</p>
第一步，相对简单一些，可以用于接触式或者接近式光刻机，这两个都是直接投影的，模版的分辨率多少，实际分辨率大约就是多少。</p>
而第二步困难一些，等东北光学所慢慢搞就行，这是预想用于投影式光刻机的，搞个一年两年三年的都不是什么问题，搞不出来，接近式光刻机也够用了，搞出来了，那就纯赚了。</p>
与此同时，某化学研究所，搞有机材料的同志也接到了十二机部关于光敏材料的研究要求，研究要求明确指明了，光敏材料可以是光聚合型、光分解型、光交联型中的一种，用于激光感光成像，工作光波长355nm。</p>
十二机部还送来了一台激光器，以及简单的激光扩散配件，用作试验过程中的光源。</p>
说实话，研究所的同志，还是第一次看到要求这么明确，连技术路线都给说得明明白白的要求文件。</p>
甚至光交联型这种，他们也是看了要求文件里面的解释才搞清楚是个怎么回事儿。</p>
要是所有的需求方都像这一家这样就好了，化学研究所的同志美滋滋的想，还能学东西！</p>
其实这是高振东没办法，他不知道现在到底哪一种能搞成，总之65年这东西是有的，干脆把几种常见的光刻胶的路线都给写了上去，你做出来哪种算哪种，无非就是正胶负胶的区别，都能用。</p>
一个技术刚兴起的时候，自由度是最大的，不用考虑太细节的东西，而且配套技术不用考虑技术路线的差别带来的性能差异，因为要求还没高到那份上，大概就是能用就行，整出来就算本事。</p>
像日后光刻技术那一大堆高级技术在这个年代都不用考虑，根本用不上，也没条件用上。</p>
搞个10微米~100微米的光刻，就想着把浸润光刻、多重曝光、EUV光源这些弄上来无疑是吃饱了撑着了。</p>
且不说这些美滋滋的配套厂所，高振东自己，正在和厂里的一堆八级工研究工件台的事情，虽然不搞多重曝光，但是套刻还是需要的，工件台的定位精度还是要考虑。</p>
套刻，就是把多个图形分多次刻到同一工件上，形成一个完整的图形。</p>
如果只是刻一次，那倒不需要管套刻精度，只要保证光的投射范围都在晶圆上以及光投影精度即可，可是在集成电路工艺里，是要分很多次光刻，来形成不同结构，而且这些结构之间又有电路连接，所以套刻精度还是要保证的。</p>
至于双工件台，就先扔一边了，一个工件台还没搞利索呢，想那么多是给自己找麻烦。</p>
“高总，你这个东西的定位精度要半丝？”一群老八级工有点嘬牙。</p>
1丝，从机加工的角度，等于10微米，半丝，5微米。</p>
高振东点点头：“嗯，先不考虑移动定位精度，就考虑两个工件固定时定位的相对精度就可以。”</p>
如果微缩投影还没搞通的话，那移动定位精度就意义不大，因为不需要在晶圆上一个芯片一个芯片的刻，而是一次性投影出整个晶圆的图像，这种情况下，哪怕套刻，主要考虑的也就是模版、晶圆固定时的相对位置精度了。</p>try{ggauto();} catch(ex){}
之所以一开始都是搞的接触式或者接近式光刻机，这就是原因，技术简单得多啊。</p>
几位老师傅，包括易中海在内，放下了大半的心，这个就好办多了。</p>
高振东把整个光刻机机械部分的要求发给他们，并给他们一一解释，光刻机可不只前面那么一点东西，比如光刻胶的涂覆、无尘环境的生成等等</p>
其实早期的光刻机，看起来像个化学实验室的通风橱柜似的，而且还带显微镜，用于人工调整观察，又像一个生物上用的玩意，反正就是不像个工业上用的机器，完全没有后来看起来那么高大上。</p>
听了高振东的要求，所有的老师傅觉得这还是有门儿的，问题不大，领了任务就去工作了，这些老师傅，有的是三分厂的，有的是从其他车间临时借来帮忙的，不管哪儿来的，反正这段时间都要在三分厂的研究场地里干活了。</p>
至于其他部分工艺，都交给1274厂了，他们那边条件成熟，好歹还是专业半导体厂嘛。</p>
与此同时，保卫处长正在和刘海中谈话，刘海中虽然也是老锻工了，可是离八级还有距离，也够不上掺合三分厂的特殊项目，至于生产，他不是三分厂的人就更说不上了。</p>
保卫处长找他谈话，是有好事情找他，至少在他看来是这样。</p>
“刘师傅，你是厂里的老同志，从你一贯表现来看，对于我们的保卫和安全工作，是非常上心、非常积极的”</p>
保卫处张处长上来就先把刘海中猛夸了一通，听得刘海中是无比的舒坦，心思禁不住有些活泛起来。</p>
老刘我，这是要时来运转了？领导终于看到我的努力了？愿意给我机会，给我加担子了？</p>
就在他浮想联翩，美梦连连的时候，果然就听到了之音。</p>
“.你的表现，厂里也都是看在眼里，记在心里的，所以，现在有个担子，想看看你愿不愿意挑一挑？”</p>
一通夸奖之后，张处长总算是说出这次叫他过来的原因了，把刘海中急得不行。</p>
担子？挑一挑？</p>
说到这个，刘海中可就不困了，脑袋里如一声炸雷响过，我就说嘛，我的努力和态度，总之是不会被领导们忽略的嘛。</p>
他的文化，也想不出诸如“明珠蒙尘”、“怀才不遇”之类的话，总之就是想得挺朴实。</p>
有担子是吧，还没听是什么呢，刘海中已经忙不迭的点头：“我愿意，我愿意，请组织和群众考验我。”</p>
这种话他在收音机里听了不少，顺口就说出来了。</p>
张处长皱了皱眉：“刘师傅，别急别急，你暂时还不是组织的人，用不着组织考验。”</p>
早就听说这个刘海中有点想进步想昏了头，如今看来果然有点儿不太正常。</p>
“哦哦哦，那请厂里尽管给我压担子，我绝不皱眉。”担子越重，不就意味着位置越高嘛。</p>
不至于不至于，张处长心里想着，嘴里说着：“是这样，我们厂的生产任务和生产的产品，是越来越重要了，为了生产工作的安全进行，厂里决定加大保卫巡逻的力度。这么一来，光靠我们保卫处和民兵队的力量，就有点不够了。厂里希望从老同志里面，挑选一批，新老结合，以老带新，补充一下巡逻力量。不过先说好啊，这个事情是没有额外的工资的，只是保留你原来的工资。”</p>
这是要进保卫处了？刘海中心里憧憬起来。工资算什么？我还缺工资么？好歹也是高级技工了不是，不缺这点儿。</p>
这年头的保卫处，那权责范围可不是一般的大，尤其是三轧厂这种大厂，威风着呢。</p>
“根据刘师傅平时的表现，所以在这一次里是优先考虑的对象，保卫处希望你能作为巡逻组长，带领两位年轻同志，利用工作之余的时间，为厂里的保卫工作贡献一下力量，刘师傅你看如何啊？当然，这个是全凭自愿，不会强求的，这种巡逻组，会成立一批，如果你不愿意也不会影响工作。”</p>
刘海中一听，陷入了两难。</p>
要干吧，合着这是个兼的，自己正经工作还得做。</p>
要说不干吧，好歹是个组长，领着两个人呢，没准这就是自己官路的第一步？过了这个村，也许就没有这个店了。</p>
正当刘海中摇摆不定时，张处长在他心中的稻草上压上了最后一匹骆驼。</p></div>
要求非常贴心的分为了两级，实现过程也就分成了两步。</p>
第一步，是将波长355nm的激光束扩散为直径160mm的平行光束。</p>
第二步，是将这束扩散后的平行光束，将光路中的玻璃板上图像重新缩微投影为一个20mm的光斑。要求缩微投影后，图形变形不超过5微米，越小越好。</p>
这个要求说简单那不简单，说麻烦嘛，好像也不是非常麻烦，正好卡在好像努力一下就能够的着的程度。</p>
对于搞技术的人来说，这种要求是最舒服的，既不会没有挑战性和成就感，又不会要求太高难以实现。</p>
而且对方明确说了，分两步实施，第一步做出来就先提交第一步，第一步尽量快，第二步可以慢慢做，但是质量一定要稳。</p>
还能分步提交成果，这就更舒服了。</p>
甚至对方还非常贴心的，送了一台激光器过来，正是355nm激光光源。</p>
这个不是红宝石激光器，本来是高振东为激光测距准备的YAG激光器，这东西功率比较容易做大，而且波长根据掺杂可调。</p>
这正是高振东和1274厂集成电路工艺研究中的一部分，这东西一看就知道，用于光刻机的光路系统。</p>
把整个光路系统分成两步，正是高振东的主意。</p>
第一步，相对简单一些，可以用于接触式或者接近式光刻机，这两个都是直接投影的，模版的分辨率多少，实际分辨率大约就是多少。</p>
而第二步困难一些，等东北光学所慢慢搞就行，这是预想用于投影式光刻机的，搞个一年两年三年的都不是什么问题，搞不出来，接近式光刻机也够用了，搞出来了，那就纯赚了。</p>
与此同时，某化学研究所，搞有机材料的同志也接到了十二机部关于光敏材料的研究要求，研究要求明确指明了，光敏材料可以是光聚合型、光分解型、光交联型中的一种，用于激光感光成像，工作光波长355nm。</p>
十二机部还送来了一台激光器，以及简单的激光扩散配件，用作试验过程中的光源。</p>
说实话，研究所的同志，还是第一次看到要求这么明确，连技术路线都给说得明明白白的要求文件。</p>
甚至光交联型这种，他们也是看了要求文件里面的解释才搞清楚是个怎么回事儿。</p>
要是所有的需求方都像这一家这样就好了，化学研究所的同志美滋滋的想，还能学东西！</p>
其实这是高振东没办法，他不知道现在到底哪一种能搞成，总之65年这东西是有的，干脆把几种常见的光刻胶的路线都给写了上去，你做出来哪种算哪种，无非就是正胶负胶的区别，都能用。</p>
一个技术刚兴起的时候，自由度是最大的，不用考虑太细节的东西，而且配套技术不用考虑技术路线的差别带来的性能差异，因为要求还没高到那份上，大概就是能用就行，整出来就算本事。</p>
像日后光刻技术那一大堆高级技术在这个年代都不用考虑，根本用不上，也没条件用上。</p>
搞个10微米~100微米的光刻，就想着把浸润光刻、多重曝光、EUV光源这些弄上来无疑是吃饱了撑着了。</p>
且不说这些美滋滋的配套厂所，高振东自己，正在和厂里的一堆八级工研究工件台的事情，虽然不搞多重曝光，但是套刻还是需要的，工件台的定位精度还是要考虑。</p>
套刻，就是把多个图形分多次刻到同一工件上，形成一个完整的图形。</p>
如果只是刻一次，那倒不需要管套刻精度，只要保证光的投射范围都在晶圆上以及光投影精度即可，可是在集成电路工艺里，是要分很多次光刻，来形成不同结构，而且这些结构之间又有电路连接，所以套刻精度还是要保证的。</p>
至于双工件台，就先扔一边了，一个工件台还没搞利索呢，想那么多是给自己找麻烦。</p>
“高总，你这个东西的定位精度要半丝？”一群老八级工有点嘬牙。</p>
1丝，从机加工的角度，等于10微米，半丝，5微米。</p>
高振东点点头：“嗯，先不考虑移动定位精度，就考虑两个工件固定时定位的相对精度就可以。”</p>
如果微缩投影还没搞通的话，那移动定位精度就意义不大，因为不需要在晶圆上一个芯片一个芯片的刻，而是一次性投影出整个晶圆的图像，这种情况下，哪怕套刻，主要考虑的也就是模版、晶圆固定时的相对位置精度了。</p>try{ggauto();} catch(ex){}
之所以一开始都是搞的接触式或者接近式光刻机，这就是原因，技术简单得多啊。</p>
几位老师傅，包括易中海在内，放下了大半的心，这个就好办多了。</p>
高振东把整个光刻机机械部分的要求发给他们，并给他们一一解释，光刻机可不只前面那么一点东西，比如光刻胶的涂覆、无尘环境的生成等等</p>
其实早期的光刻机，看起来像个化学实验室的通风橱柜似的，而且还带显微镜，用于人工调整观察，又像一个生物上用的玩意，反正就是不像个工业上用的机器，完全没有后来看起来那么高大上。</p>
听了高振东的要求，所有的老师傅觉得这还是有门儿的，问题不大，领了任务就去工作了，这些老师傅，有的是三分厂的，有的是从其他车间临时借来帮忙的，不管哪儿来的，反正这段时间都要在三分厂的研究场地里干活了。</p>
至于其他部分工艺，都交给1274厂了，他们那边条件成熟，好歹还是专业半导体厂嘛。</p>
与此同时，保卫处长正在和刘海中谈话，刘海中虽然也是老锻工了，可是离八级还有距离，也够不上掺合三分厂的特殊项目，至于生产，他不是三分厂的人就更说不上了。</p>
保卫处长找他谈话，是有好事情找他，至少在他看来是这样。</p>
“刘师傅，你是厂里的老同志，从你一贯表现来看，对于我们的保卫和安全工作，是非常上心、非常积极的”</p>
保卫处张处长上来就先把刘海中猛夸了一通，听得刘海中是无比的舒坦，心思禁不住有些活泛起来。</p>
老刘我，这是要时来运转了？领导终于看到我的努力了？愿意给我机会，给我加担子了？</p>
就在他浮想联翩，美梦连连的时候，果然就听到了之音。</p>
“.你的表现，厂里也都是看在眼里，记在心里的，所以，现在有个担子，想看看你愿不愿意挑一挑？”</p>
一通夸奖之后，张处长总算是说出这次叫他过来的原因了，把刘海中急得不行。</p>
担子？挑一挑？</p>
说到这个，刘海中可就不困了，脑袋里如一声炸雷响过，我就说嘛，我的努力和态度，总之是不会被领导们忽略的嘛。</p>
他的文化，也想不出诸如“明珠蒙尘”、“怀才不遇”之类的话，总之就是想得挺朴实。</p>
有担子是吧，还没听是什么呢，刘海中已经忙不迭的点头：“我愿意，我愿意，请组织和群众考验我。”</p>
这种话他在收音机里听了不少，顺口就说出来了。</p>
张处长皱了皱眉：“刘师傅，别急别急，你暂时还不是组织的人，用不着组织考验。”</p>
早就听说这个刘海中有点想进步想昏了头，如今看来果然有点儿不太正常。</p>
“哦哦哦，那请厂里尽管给我压担子，我绝不皱眉。”担子越重，不就意味着位置越高嘛。</p>
不至于不至于，张处长心里想着，嘴里说着：“是这样，我们厂的生产任务和生产的产品，是越来越重要了，为了生产工作的安全进行，厂里决定加大保卫巡逻的力度。这么一来，光靠我们保卫处和民兵队的力量，就有点不够了。厂里希望从老同志里面，挑选一批，新老结合，以老带新，补充一下巡逻力量。不过先说好啊，这个事情是没有额外的工资的，只是保留你原来的工资。”</p>
这是要进保卫处了？刘海中心里憧憬起来。工资算什么？我还缺工资么？好歹也是高级技工了不是，不缺这点儿。</p>
这年头的保卫处，那权责范围可不是一般的大，尤其是三轧厂这种大厂，威风着呢。</p>
“根据刘师傅平时的表现，所以在这一次里是优先考虑的对象，保卫处希望你能作为巡逻组长，带领两位年轻同志，利用工作之余的时间，为厂里的保卫工作贡献一下力量，刘师傅你看如何啊？当然，这个是全凭自愿，不会强求的，这种巡逻组，会成立一批，如果你不愿意也不会影响工作。”</p>
刘海中一听，陷入了两难。</p>
要干吧，合着这是个兼的，自己正经工作还得做。</p>
要说不干吧，好歹是个组长，领着两个人呢，没准这就是自己官路的第一步？过了这个村，也许就没有这个店了。</p>
正当刘海中摇摆不定时，张处长在他心中的稻草上压上了最后一匹骆驼。</p></div>